地基是有了,可蓋樓還得有圖紙,還得有把圖紙印上去的本事。
這又回到了那個(gè)老問(wèn)題——光刻。
要在這么小的一塊硅片上,刻出成百上千個(gè)晶體管的線(xiàn)路,線(xiàn)條細(xì)得連頭發(fā)絲的十分之一都不到。
靠人手畫(huà)?那得累死一萬(wàn)個(gè)微雕師傅。
靠刀刻?哪有那么細(xì)的刀?
錢(qián)所長(zhǎng)這次帶來(lái)的圖紙,鋪滿(mǎn)了整整一張大桌子。
那是一張放大了幾千倍的電路圖,上面密密麻麻的全是線(xiàn)條和方塊。
“曲總工,這就是我們要刻的東西。”錢(qián)所長(zhǎng)指著那張巨大的圖紙,“現(xiàn)在的問(wèn)題是,怎么把這大家伙,縮小一萬(wàn)倍,原封不動(dòng)地搬到那塊指甲蓋大小的硅片上?”
“洋人用的是光刻機(jī)。”錢(qián)所長(zhǎng)嘆了口氣,“那是比坐標(biāo)磨床還精密的玩意兒。用紫外線(xiàn)做刀,用透鏡做筆。咱們……咱們連個(gè)鏡片都磨不出來(lái)。”
曲令頤看著那張圖紙,腦子里飛快地轉(zhuǎn)著。
光刻機(jī)。
說(shuō)白了,就是一個(gè)超高精度的照相機(jī),只不過(guò)它是反著用的。
照相機(jī)是把大的風(fēng)景縮進(jìn)小的底片里。
投影儀是把小的底片放大到大的屏幕上。
光刻機(jī),就是要把大的圖紙,經(jīng)過(guò)縮微,再縮微,最后投影到硅片上。
“咱們沒(méi)有光刻機(jī),但咱們有顯微鏡。”
曲令頤突然轉(zhuǎn)身,看向那臺(tái)剛組裝好不久的電子顯微鏡旁邊,還放著幾臺(tái)當(dāng)初為了配合研發(fā)買(mǎi)來(lái)的進(jìn)口光學(xué)顯微鏡。
雖然倍數(shù)不高,但那鏡頭也是德國(guó)產(chǎn)的,光學(xué)素質(zhì)極好。
“要是把顯微鏡倒過(guò)來(lái)用呢?”
“倒過(guò)來(lái)?”錢(qián)所長(zhǎng)和龔工都愣了。
“顯微鏡是把下面的小東西放大到眼睛里。要是咱們把光源放在目鏡這就,讓光倒著走,經(jīng)過(guò)物鏡縮回去,不就能把上面的大圖紙,縮小投影到底下了嗎?”
這思路,野。
但符合光學(xué)原理。
光路是可逆的。
“那感光呢?”錢(qián)所長(zhǎng)提出疑問(wèn),“洋人有專(zhuān)門(mén)的光刻膠,咱們沒(méi)有。沒(méi)有那層能感光的膠,光投下去了也就是個(gè)影子,留不住啊。”
“膠?”
這回輪到劉秀芝說(shuō)話(huà)了。
她在旁邊聽(tīng)了半天,雖然不懂什么光學(xué),但聽(tīng)到“膠”這個(gè)字,她來(lái)了精神。
“曲總工,咱們印染車(chē)間,前段時(shí)間為了印那個(gè)復(fù)雜的碎花布,不是搞了一種什么……感光膠嗎?就是那種見(jiàn)光變硬,不見(jiàn)光能洗掉的膠?”
曲令頤猛地一拍腦門(mén)。
燈下黑啊!
印染行業(yè)用的絲網(wǎng)印花感光膠!
雖然那個(gè)精度低,那是用來(lái)印布的,顆粒粗。但原理是一模一樣的!
“秀芝,你立大功了!”曲令頤抓著劉秀芝的肩膀晃了兩下,“快,去把咱們印染實(shí)驗(yàn)室配膠的老師傅請(qǐng)來(lái)!”
“還有,去電影制片廠(chǎng),找?guī)讉€(gè)搞縮微膠片的專(zhuān)家!”
……
三車(chē)間里,又搭起了一個(gè)黑屋子。
這就是咱們的“黃光室”。
因?yàn)楦泄饽z對(duì)別的光敏感,只能在黃光下操作。
屋子里彌漫著一股香蕉水和膠水的混合味道。
那臺(tái)光學(xué)顯微鏡被架高了,上面接了個(gè)特制的長(zhǎng)筒子,頂端是個(gè)專(zhuān)門(mén)找來(lái)的高亮度紫外線(xiàn)燈泡。
下面,是一個(gè)經(jīng)過(guò)坐標(biāo)磨床精密加工的移動(dòng)平臺(tái)。
這就是曲令頤的“手搓光刻機(jī)”。
看著有點(diǎn)不倫不類(lèi),像個(gè)拉長(zhǎng)了脖子的怪鳥(niǎo)。
操作臺(tái)上,錢(qián)所長(zhǎng)正緊張地盯著秒表。
曲令頤戴著護(hù)目鏡,手里拿著那是用電影制片廠(chǎng)的高分辨率縮微膠片做出來(lái)的“掩膜版”。
這掩膜版,就是那張巨大電路圖的縮小底片。
“涂膠!”
劉秀芝穿著無(wú)塵服,小心翼翼地把那塊灰色的小硅片放在一個(gè)旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)盤(pán)上。
滴上一滴特制的感光膠。
轉(zhuǎn)盤(pán)飛速旋轉(zhuǎn),“嗡”的一聲,離心力把膠液甩開(kāi),在硅片表面形成了一層極薄、極均勻的膜。
這叫旋涂。
雖然是土設(shè)備,但這轉(zhuǎn)盤(pán)的電機(jī)可是用了最好的穩(wěn)速電路,穩(wěn)得一批。
“烘干!”
放進(jìn)烤箱,烤幾分鐘。
“曝光!”
把涂好膠的硅片放到顯微鏡的物鏡底下。
上面的紫外燈亮了。
那光線(xiàn)穿過(guò)縮微膠片上的電路圖案,經(jīng)過(guò)透鏡的層層縮小,最后精準(zhǔn)地聚焦在硅片表面的膠膜上。
看不見(jiàn)。
因?yàn)樘×恕?br/>而且光化學(xué)反應(yīng)是無(wú)聲無(wú)息的。
只有秒表在“滴答滴答”地走。
“停!”
時(shí)間到。
曲令頤關(guān)掉燈,迅速把硅片取出來(lái),扔進(jìn)旁邊的顯影液里。
這一步最關(guān)鍵。
要是膠沒(méi)配好,或者曝光時(shí)間不對(duì),這圖案就糊了,或者是根本顯不出來(lái)。
大家伙圍著那個(gè)小小的搪瓷盤(pán)子,大氣都不敢出。
液體晃動(dòng)。
慢慢地,在黃色的燈光下,那塊原本光禿禿的硅片表面,開(kāi)始浮現(xiàn)出一些極其細(xì)微的紋路。
那種感覺(jué),就像是在暗房里洗照片,看著影像慢慢浮現(xiàn)出來(lái)一樣神奇。
龔工拿著放大鏡湊過(guò)去看。
看了足足有一分鐘。
然后猛地抬起頭,滿(mǎn)臉通紅,嘴唇哆嗦著說(shuō)不出話(huà)來(lái)。
“咋樣?咋樣?”錢(qián)所長(zhǎng)急得直跺腳。
“神了……”龔工把放大鏡遞給錢(qián)所長(zhǎng),“這線(xiàn)條……比頭發(fā)絲還細(xì)!而且邊緣整整齊齊,一點(diǎn)毛刺都沒(méi)有!”
錢(qián)所長(zhǎng)接過(guò)來(lái)看了一眼。
眼淚嘩的一下就下來(lái)了。
他看到了那一個(gè)個(gè)清晰的方塊,那一條條連通的線(xiàn)路。
這就是電路。
這就是能讓電子在里面奔跑、計(jì)算、控制的迷宮。
咱們用縫衣服的線(xiàn)切出了片子,用印花布的膠印出了電路,用看細(xì)菌的鏡子刻出了芯片!
這簡(jiǎn)直就是工業(yè)史上的奇跡!
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第333章 咱們沒(méi)有光刻機(jī),但咱們有顯微鏡
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